MOCVD ile Büyütülen InxGa1-xAs  Epikatmanların Optik ve Yapısal Özellikleri

Behcet Ozgur ALAYDIN; Ebru SENADIM TUZEMEN; İlkay DEMIR; Sezai ELAGOZ

doi:https://doi.org/10.17776/csj.349262

Article Details

MOCVD ile Büyütülen InxGa1-xAs Epikatmanların Optik ve Yapısal Özellikleri

Authors:

Behcet Ozgur ALAYDIN | Ebru SENADIM TUZEMEN | İlkay DEMIR | Sezai ELAGOZ

Main Topics:

Astronomy and allied sciences

Journal:

Cumhuriyet Science Journal 2017 Vol.38 Issue 4, pp.681-689

Document Type:

Article

Publication Date:

12/2017

Document Language:

Turkish

Document ID (Org No.):

2000920899

DOI:

https://doi.org/10.17776/csj.349262

Keywords:

Abstract:

 


InxGa1-xAs layers on undoped InP (100) substrates
were grown with Aixtron 200-4
RF/S horizontal Metal Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD)
reactor. All the epilayers have
been grown with different indium compositions. Thickness of the samples were measured via Scanning
Electron Microscopy (SEM). Indium concentrations were defined by High
Resolution X-ray Diffraction (HRXRD) and optical measurements were done with
spectroscopic ellipsometry in order to obtain refractive index (n) and
thickness of the samples. In-situ reflectance is used to measure thickness of
samples. Then all of the thicknesses are compared.

.

 


InxGa1-xAs tabakaları katkısız InP (100) alttaş
üzerine Aixtron 200-4 RF/S yatay
Metal Organik Kimyasal Buhar Depolama (MOCVD) sistemi ile büyütülmüştür. Bütün epikatmanlar farklı indiyum
konsantrasyonlarında büyütülmüştür. Katmanların kalınlıkları Taramalı Elektron
Mikroskobu (SEM) ile ölçülmüştür. İndiyum konsantrasyonları Yüksek Çözünürlüklü
X-ışını Kırınım (HRXRD) cihazı ile tayin edildi ve kırılma indisi (n) ve
kalınlıkların belirlenmesi için optiksel ölçümler spektroskopik elipsometre ile
yapıldı. In-situ yansıma, örneklerin kalınlıklarının belirlenmesi için
kullanılmıştır. Son olarak bütün kalınlıklar karşılaştırılmıştır.

.

Article Details

MOCVD ile Büyütülen InxGa1-xAs Epikatmanların Optik ve Yapısal Özellikleri

Authors:

Behcet Ozgur ALAYDIN | Ebru SENADIM TUZEMEN | İlkay DEMIR | Sezai ELAGOZ

Main Topics:

Astronomy and allied sciences

Journal:

Cumhuriyet Science Journal 2017 Vol.38 Issue 4, pp.681-689

Document Type:

Article

Publication Date:

12/2017

Document Language:

Turkish

Document ID (Org No.):

2000920899

DOI:

https://doi.org/10.17776/csj.349262

Metal Organik Kimyasal Buhar Depolama MOCVD

Elipsometre

HRXRD

SEM

In-situ Ölçüm

Issues

Article Details

MOCVD ile Büyütülen InxGa1-xAs Epikatmanların Optik ve Yapısal Özellikleri

Authors: Behcet Ozgur ALAYDIN | Ebru SENADIM TUZEMEN | İlkay DEMIR | Sezai ELAGOZ

Main Topics: Astronomy and allied sciences

Journal: Cumhuriyet Science Journal 2017 Vol.38 Issue 4, pp.681-689

Document Type: Article

Publication Date: 12/2017

Document Language: Turkish

Document ID (Org No.): 2000920899

DOI: https://doi.org/10.17776/csj.349262

Metal Organik Kimyasal Buhar Depolama MOCVD

Elipsometre

HRXRD

SEM

In-situ Ölçüm

Issues

Authors:

Behcet Ozgur ALAYDIN | Ebru SENADIM TUZEMEN | İlkay DEMIR | Sezai ELAGOZ

Main Topics:

Astronomy and allied sciences

Journal:

Cumhuriyet Science Journal 2017 Vol.38 Issue 4, pp.681-689

Document Type:

Article

Publication Date:

12/2017

Document Language:

Turkish

Document ID (Org No.):

2000920899

DOI:

https://doi.org/10.17776/csj.349262